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Air shower風(fēng)淋室操作規(guī)范

一 目的

確保air shower風(fēng)淋室正常工作，保證FAB清潔和安全衛(wèi)生

二 適用范圍

A6-1  MEMS 廠務(wù)系統(tǒng)所有Air shower 風(fēng)淋室

三 裝置說明

NA

1. 系統(tǒng)操作說明及注意事項(xiàng)

注意事項(xiàng)：

1. 緊急情況按停止開關(guān)，互鎖立即解除，兩門可以同時(shí)打開。
2. 風(fēng)淋室通電后，只能開啟一側(cè)的門，嚴(yán)禁在通電的情況下同時(shí)打開兩門。
3. 當(dāng)風(fēng)淋室內(nèi)側(cè)的時(shí)間顯示為0或不在顯示狀態(tài)時(shí)，按急停按鈕，否則將造成電路損壞。
4. 任何違反以上的操作將會(huì)造成事故的發(fā)生，甚至損壞控制系統(tǒng)。
5. 使用急停按鈕斷電，重新啟動(dòng)控制電路（瞬間兩門同時(shí)打開屬于正常）。

四 異常處理事項(xiàng)

風(fēng)淋室出現(xiàn)異常，請(qǐng)按下表經(jīng)行自檢，若不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)與該公司售后服務(wù)部聯(lián)系。

五 相關(guān)設(shè)備規(guī)格

六 系統(tǒng)維修, 保養(yǎng)校正周期及允收標(biāo)準(zhǔn).

A：風(fēng)淋室工作參數(shù)說明

參數(shù)設(shè)定需持續(xù)按下急停按鈕3秒進(jìn)入設(shè)定狀態(tài)。此時(shí)風(fēng)淋倒計(jì)時(shí)數(shù)字顯示HE，急停鍵作為設(shè)定鍵，風(fēng)淋鍵作為翻頁使用。按風(fēng)淋鍵會(huì)依次顯示

TI（門外鎖設(shè)定時(shí)間）

TO(內(nèi)門解鎖延時(shí)設(shè)定)

TC(風(fēng)淋延時(shí)時(shí)間設(shè)定)

TL(照明延時(shí)時(shí)間設(shè)定)

TD(功能設(shè)定)

TN(門互鎖設(shè)定)

B：風(fēng)淋室工作參數(shù)設(shè)定

1、 風(fēng)淋時(shí)間設(shè)定：在風(fēng)淋開始或結(jié)束前，直接通過上下鍵調(diào)節(jié)時(shí)間（0~99S）,調(diào)節(jié)結(jié)束后5秒鐘進(jìn)入設(shè)定保存狀態(tài)。

2、 門外解鎖延時(shí)設(shè)定：連續(xù)按下急停鍵3秒，數(shù)字顯示HE，按風(fēng)淋鍵數(shù)碼管顯示：TI，按上下鍵設(shè)定0-99秒經(jīng)行調(diào)節(jié)，按風(fēng)淋鍵確定，5秒進(jìn)入設(shè)定參數(shù)保存。

3、 門內(nèi)鎖延時(shí)設(shè)定：完成外門設(shè)定后，在五秒內(nèi)再次按風(fēng)淋鍵，按上下鍵設(shè)定0-99秒經(jīng)行調(diào)節(jié)，按風(fēng)淋鍵確定，5秒進(jìn)入設(shè)定參數(shù)保存。

4、 電鎖延時(shí)設(shè)定：完成內(nèi)門設(shè)定后，在五秒內(nèi)再次按風(fēng)淋鍵，按上下鍵設(shè)定0-99秒經(jīng)行調(diào)節(jié)，按風(fēng)淋鍵確定，5秒進(jìn)入設(shè)定參數(shù)保存。

5、 照明延時(shí)設(shè)定：完成內(nèi)門設(shè)定后，在五秒內(nèi)再次按風(fēng)淋鍵，按上下鍵設(shè)定0-99秒經(jīng)行調(diào)節(jié)，按風(fēng)淋鍵確定，5秒進(jìn)入設(shè)定參數(shù)保存。

6、 功能設(shè)置設(shè)定：設(shè)為“0”為普通型，即“進(jìn)門---感應(yīng)---吹淋---出門”；設(shè)為“1”為無感應(yīng)型，即“進(jìn)---吹淋---出門” ；設(shè)為“2”為無門型，即“感應(yīng)---吹淋”過程控制。

7、 門互鎖功能設(shè)定：門互鎖有“0”和“1”兩個(gè)狀態(tài)，設(shè)置“0”時(shí)為正常狀態(tài)，設(shè)置“1”時(shí)為互鎖狀態(tài)。

七 安全作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

a)   啟動(dòng)風(fēng)淋門相應(yīng)的設(shè)備應(yīng)為專職人員經(jīng)行操作。

b)      打開風(fēng)淋控制柜及電箱必須具備相應(yīng)安全保障措施才能經(jīng)行操作。

c)      維修人員需要具備相應(yīng)的操作資格，涉及電操作應(yīng)兩人以上人員操作。

d)      維修人員需穿上必備的勞保用品，潔凈區(qū)操作按照FAB管理要求經(jīng)行。

e)      及時(shí)準(zhǔn)確記錄操作的相關(guān)內(nèi)容。

八 附件

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